AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비입니다. 인체공학적인 디자인과 편리성은 오퍼레이터들이 웨이퍼를 교체할 때 안전하고 편리하게 사용할 수 있으며, 휘거나 얇은 웨이퍼도 대응이 가능합니다.
| 동작하기 쉽고 인체공학적인 디자인 | |
| •사용자의 의도에 따라 post-process 검사를 할 수 있으며, 특히 인체공학적이고 사용하기 쉽도록 중점을 두어 설계하였습니다.AL120 - 12 시스템은 top 매크로와 back 매크로 및 현미경 검사를 할 수 있습니다. •로봇 진공 pick-up arm 은 현미경 스테이지에서 정확한 배치를 위해 비접촉하여 웨이퍼의 센터링 작업을 수행합니다. 웨이퍼는 현미경 검사를하는 동안 360도 회전할 수 있습니다. •AL120-12는 우수한 해상도와 정밀도를 갖는 고품질의 광학 영상을 제공하는 OLYMPUS MX61L현미경과 호환됩니다. •중앙에 위치한 컨트롤러와 보드위의 매크로 조명장치는 사용자가 오랜 시간 검사하는 동안에도 인체공학적이고 편안한 자세를 유지할 수 있게 합니다. |
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| 강력하고 신뢰성 있는 안전 처리 | |
| •OLYMPUS AL120-12에서도 웨이퍼 처리에서 입증된 전문성을 갖추고 있습니다. 그 강력하고 신뢰할 수있는 설계는 웨이퍼 무결성을 유지하고 300mm 웨이퍼에 대한 안전 처리를 보장합니다. •얇고 뒤틀리는 웨이퍼도 안전하게 AL120 - 12 핸들러를 사용하여 전송할 수 있습니다. |
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| 전용 매크로 조명기 | |
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추가적인 메탈 할라이드 램프와 광섬유는 이물질이나 스크래치, 필름결함 등에 매크로 검사 절차 간에 무열광원과 함께 검사할 수 있도록 합니다. |
| 전용 매크로 조명기 | |
| 300mm Wafer Loader AL120-12 Specifications | ||
| AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | |
| Wafer Size | 300 mm in dia. (SEMI M1.15, t=775 µm) Option: 200 mm in dia. | |
| Cassette |
- FOUP (Front Opening Unified Pods)
- SEMI: E47.1-0200 Standard Product - FIMS-FOSB, FOSB |
- FOSB (Front Opening Shipping Box)
- SEMI: M31-0999 Standard Product |
| Number of Cassettes | One Cassette (for Loading and Unloading) | |
| Cassette Placement Height | 900 mm | |
| Loading Port | Included | Not Included |
| Transfer Sequence | Top Macro Inspection, Back Macro Inspection, Micro Inspection | |
| Inspection Mode | All Wafers Inspection, Sampling Inspection | |
| Wafer Alignment | Non-contact Centering | |
| Wafer Transfer System | Vacuum-contact Mechanical Arm System | |
| Applicable Microscope | Olympus Semiconductor Inspection Microscope MX61L | |
| Utility |
100 V-120 VAC, 220-240 VAC, 3.0/1.7 A, 50/60 Hz
Vacuum: -67 kPa to -80 kPa | |
| Stage | XY Manual Contact Stage: XY Coarse/Fine Motion, Included with a 360° Rotating Mechanism | |
| Mass (Excluding the Microscope) | 360 kg approx. | 270 kg approx. |
