올림푸스 산업용 검사 현미경 MX51은 가격대비 활용성이 높은 모델로 보다 편리하고 빠른 관찰이 가능하며, 각종 전자부품, 웨이퍼, 크기가 큰 샘플들의 관찰에 용이하도록 최적화되었습니다.
| 인체공학적 & 효율성 | |
| Frontal Centralized Operation | |
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MX51 컨트롤 하는 부분이 현미경의 정면에 위치하고 있어 사용자가 접촉하고 조종하기 쉽습니다. 클러치가 포함된 150mm 스테이지는 빠르게 위치 설정이 가능하며 사용자의 피로도를 줄여줍니다. |
| Frontal Operation | |
| 전동 Revolving Nosepiece | |
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MX51은 표준 수동타입의 Nosepieces 뿐만 아니라, 전동타입의 Nosepieces 도 장착이 가능합니다. 전동 Nosepieces는 렌즈를 빠르게 교체할 수 있으며 샘플에 발생할 수 있는 잠재적인 오염의 발생 가능성을 줄여줍니다. Nosepiece 컨트롤러는 OLYMPUS Stream과 연동하여 이미지를 획득할 때 자동적으로 대물렌즈의 배율을 저장하여 작업의 신뢰도를 높여줍니다. |
| 전동 Revolving Nosepiece | |
| 뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능 | |
| 우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택 | |
| 렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다. | |
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| 소프트웨어 솔루션 | |
| 디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리 | |
| OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다. | |
| 다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리 | |
| 근적외석(IR) 광학과 영상 | |
| 특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라. 특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다. |
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| 근적외선 부품 | 근적외선 관찰 |
| 형광 관찰 | |
| MX51은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다. | |
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| 형광 미러 큐브 | 형광 관찰 |
| Transmitted Light Module | |
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투과 조명은 MX51에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다. |
| 투과 조명모듈 | |
| Industrial Inspection Microscope MX51 Specifications | |||
| Optical System | UIS2 Optical System (Infinity-corrected) | ||
| Microscope Frame | Observation Method | BF/DF/DIC/KPO*/FL | |
| Reflected/Transmitted | Reflected/Transmitted | ||
| Illuminator | Reflected Illuminator for BF/DF(BF/DF/DIC/KPO*) | ||
| Universal Reflected Illuminator (BF/DF/DIC/KPO*/FL) | |||
| Illumination System | Reflected Light | 100 W Halogen/100 W Mercury/75 W Xenon | |
| Transmitted Light | Fiber Light Guide | ||
| Focus | Motorized/Manual | Manual | |
| Stroke | 32 mm | ||
| Resolution/Fine Adjustment Sensitivity | Fine Stroke per Rotation 0.1 mm | ||
| Maximum Specimen Height | 30 mm | ||
| Revolving Nosepiece | Motorized Type | Sextuple for BF/DIC | |
| Quintuple for BF/DF/DIC | |||
| Centerable Quintuple for BF/DF/DIC | |||
| Sextuple for BF/DF/DIC | |||
| Manual Type | Quintuple for BF | ||
| Sextuple for BF/DIC | |||
| Centerable Sextuple for BF/DIC | |||
| Septipule for BF/DIC | |||
| Quintuple for BF/DF | |||
| Quintuple for BF/DF/DIC | |||
| Centerable Quintuple for BF/DF/DIC | |||
| Sextuple for BF/DF/DIC | |||
| Stage | Stroke | 6x6 inch Right Handle Stage: 158(X)x158(Y)mm (Transmitted Light Range 100x100 mm) | |
| 4x4 inch Coaxial Left (Right) Handle Stage: 100(X)x105(Y)mm (Transmitted Light Range 96x96 mm) | |||
| Observation Tube | Widefield (Field Number 22) | Inverted Image | Binocular /Trinocular /Tilting Binocular Observation Tube |
| Erect Image | Trinocular /Tilting Trinocular Observation Tube | ||
| Super Wide Field (Field Number 26.5) | Inverted Image | Trinocular Observation Tube | |
| Erect Image | Trinocular/Tilting Trinocular Observation Tube | ||
| Option Unit | IR Unit/Wafer Loader | ||
| Dimensions | 430(W)x591(D)x495(H)mm (in Standard Combination) | ||
| Weight | 26 kg (in Standard Combination) | ||
| Remark | *Simple Polarized Light Observation | ||
